氣體檢測(cè)經(jīng)常遇到流量很小的情況，這樣就屬于微流量檢測(cè)，例如測(cè)量氣體氧含量的微量測(cè)量，1PPM、10PPM、100PPM等情況下，屬于微流量檢測(cè)，我們通常采用的是微量氧分析儀和電化學(xué)氧分析儀等在線測(cè)量。

微流量檢測(cè)器是一種利用敏感元件的熱敏特性測(cè)量微小氣體流量變化的新型檢測(cè)器。其傳感元件是兩個(gè)微型熱絲電阻，和另外兩個(gè)輔助電阻組成惠斯通電橋。熱絲電阻通電加熱至一定溫度，當(dāng)有氣體流過時(shí)，帶走部分熱量使熱絲元件冷卻，電阻變化，通過電橋轉(zhuǎn)變成電壓信號(hào)。

微流量傳感器中的熱絲元件有兩種，一種是柵狀鎳絲電阻，簡(jiǎn)稱鎳格柵，它是把很細(xì)的鎳絲編織成柵欄狀制成的。這種鎳格柵垂直裝配于氣流通道中，微氣流從格柵中間穿過。另一種是鉑絲電阻，在云母片上用超微技術(shù)光刻上很細(xì)的鉑絲制成。這種鉑絲電阻平行裝配于氣流通道中，微氣流從其表面掠過。這種微流量檢測(cè)器實(shí)際上是一種微型熱式質(zhì)量流量計(jì)，它的體積很?。ü饪蹄K絲電阻的云母片只有約3 mm×3 mm，毛細(xì)管氣流通道內(nèi)徑僅為0.2~0.5 mm），靈敏度*，精度優(yōu)于±1%，價(jià)格也較便宜。采用微流量檢測(cè)器替代薄膜電容檢測(cè)器，可使紅外分析器光學(xué)系統(tǒng)的體積大為縮小，可靠性、耐振性等性能提高，因而在紅外、氧分析儀等儀器中得到了較廣應(yīng)用。